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        CF顯影液:YD-8000A

        產品概述 產品特點 功能流程 技術參數

        顯影液是顯示面板和半導體制作過程中用量較大的一種電子濕化學品,用于光刻工藝中光刻膠的顯影,國內廠商目前仍主要使用國外顯影液產品為主。在顯示面板CF領域用到的顯影液,在目前市場上常用的主要是KOH含量約為4.5%的顯影液產品,使用方式是顯影液與去離子水以1:99混合后進行顯影,近年來希望能通過配方優化進一步降低成本,提高產品競爭力。其中,通過提高顯影液的濃度,降低生產成本、運輸費用以及簡化流程是最為可行的方案,但顯影液的濃度的提高意味著KOH含量的提高,傳統的表面活性劑在高濃度堿的條件下大都穩定性差從而影響顯影效果。因此,提高顯影液濃度的關鍵在于表面活性劑的設計,即需要同時滿足潤濕、滲透、乳化、洗凈、消泡、耐堿和漂洗等各項性能指標,且需要在特定情況下滿足對不同光刻膠的顯影和分散性能。

        本項目研究在顯影液的開發上投入大量資源,根據顯影液的性能要求,進行表面活性劑的結構設計研究以及工業化生產探索,經過長期的資金投入和測試驗證,開發出高濃度顯影液原液,KOH含量約為9%,可顯著降低生產和運輸成本。高濃度顯影液在1:199與水混合條件下使用,我們與國內相關顯示面板廠商進行合作,在廠商的試驗線、生產線上進行測試,達到目前低面上在用國外濃度顯影液產品的各項性能要求,且部分指標優于國外濃度顯影液產品。主要創新如下:1. 通過引入“苯乙烯苯酚”基團仿生設計制備新型“雙子型非離子嵌段聚醚”表面活性劑,提高表面活性劑的耐堿度、降低其臨界膠束濃度,在解決低濁度的同時使高濃度顯影液可與目前絕大數量產光阻反應顯影,滿足顯影液性能;2. 探索多種光阻分子與光刻膠的微觀作用機制,解決顯影精細度和兼容性問題;3. 構建聚醚復雜狀態下的自組裝模型,明確其自組裝及破穩規律,解決顯影過程中的泡沫問題。

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